单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。

洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。

洁净车间洁净程度和控制污染的持续稳定性，是检验洁净室质量的核心标准，该标准根据区域环境、净化程度等因素，分为若干等级，常用的有国际标准和国内区域行业标准，一些知名净化工程公司，在通行标准之外，还设有自身执行的高于国际化通行标准的净化指标，净化能力和环境适应力远超国际品牌。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(医疗范畴谓之感染)。

人是污染源的发源地：静坐时，人体每分钟散发10万个粒子(粒≥0.5μm);

每天脱落6～13克表皮细胞，一年脱落人体细胞约3.5公斤。

半导体洁净室内微污染来源，经测试，作业人员占80% 。